浙江MOS管探針臺

探針臺如何工作？探針臺可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測物。手動(dòng)探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針前列放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設置在正確的位置，就可以對待測物進(jìn)行測試。對于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤(pán)，壓盤(pán)將探針頭與芯片分開(kāi)，然后將工作臺移到下一個(gè)芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置，壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺系統使用機械化工作臺和機器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程，提高了探針臺生產(chǎn)率。探針臺與顯示器一體化設計。浙江MOS管探針臺

探針測試臺x-y工作臺滾珠絲杠副和導軌結構x-y工作臺的維護與保養相對于平面電機工作臺，絲杠導軌結構的工作臺結構組成較復雜，工作臺由上層（x向）及下層（y向）兩部分組成。工作臺由兩個(gè)步進(jìn)電機分別驅動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺運動(dòng)，導向部分采用精密直線(xiàn)滾動(dòng)導軌。由于運動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件，所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小，使用壽命長(cháng)等特點(diǎn)。這種結構的工作臺應放置在溫度23±3 ℃，濕度≤70%，無(wú)有害氣體的環(huán)境中，滾珠絲杠、直線(xiàn)導軌應定期加精密儀表油，但不可過(guò)多，值得指出的是，這種結構的工作臺在裝配過(guò)程中，從直線(xiàn)導軌的直線(xiàn)性，上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重復性，定位精度等都是用專(zhuān)業(yè)的儀器儀表調整，用戶(hù)一般情況不能輕易改變，一旦盲目調整后很難恢復到原來(lái)的狀態(tài)，所以對需要調整的工作臺應有專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)廠(chǎng)家或經(jīng)過(guò)培訓的專(zhuān)業(yè)人員完成。CV測試探針臺推薦廠(chǎng)家電路板各通道及載體高頻高速測試。

低溫探針臺是用來(lái)無(wú)損檢測樣品的電性能，用于半導體、微電子、固體物理、超導等研究冷域，是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩定、可靠、方便的改變在很低的真空和溫度下對器件和電路的探測。內置振動(dòng)隔離，智能熱管理，使用低排放的材料，先進(jìn)的密封性，使該系統非常適合一系列需要更好的真空水平的應用，如石墨烯的研究，分子電子學(xué)等的，系統采用閉式循環(huán)制冷機和專(zhuān)有的熱管理，可以經(jīng)濟快速的操作。內置的隔振小化振動(dòng)符合行業(yè)標準。超穩定的微操縱滿(mǎn)足設備探針的準確和可重復的接觸。低溫探針臺集成系統有以下特點(diǎn)：1、在真空探針臺下進(jìn)行完整的霍爾效應測試的系統。2、支持一系列直流條件下霍爾效應測試。3、變溫范圍10k-400k，采用閉循環(huán)制冷機制冷，不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件，可以做簡(jiǎn)單的系統操作、數據采集和分析。5、支持多載流子分析數據導出。

探針臺操作步驟：1.將測試產(chǎn)品放入探針臺的臺盤(pán)上;2.打開(kāi)顯微鏡光源燈（LED或光源機）;3.打開(kāi)背光面板光源開(kāi)關(guān);4.調整Zaxis高度對焦，使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰;二.點(diǎn)針操作步驟：1.通過(guò)移動(dòng)鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調整針座位置，將三軸歸零;3.調整針座仰角機構，使針尖位于顯微鏡射出光斑上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖，將針尖移至視野位置并通過(guò)調整焦距使針尖達到清晰;6.切換至高倍鏡頭，找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調下針;8.量測完畢后，逆時(shí)針旋轉鈕針座的仰角機構的旋鈕取出快速將針往上抬起，針尖即可移開(kāi)針Sample;移動(dòng)座平臺或者顯微鏡相關(guān)移動(dòng)機構時(shí)，請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞9.移開(kāi)針座，取出背光面板光源和光源燈等電源.晶圓級測試自動(dòng)探針臺。

探針臺的探針的清洗，1、毛刷清潔法：適用范圍為5微米以上探針，微波探針。不適用于針尖直徑在5微米以下的軟針。清洗方法是拿一張A4白紙，撕成細長(cháng)條的形狀，撕成細長(cháng)的三角形形狀(大概5cm高左右)。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡視顯微鏡即可，放大倍數太高無(wú)法操作)，利用撕下的紙片作為毛刷，輕輕地將探針沾污物刷下。2、壓針清潔法：適用范圍是所有探針，灰塵比較靠近探針的情況。清洗方法是拿一張A4白紙，裁成樣品臺大小(或適當的尺寸)，固定于樣品臺上。將待清潔探針裝好到探針夾具上并置于顯微鏡下，慢慢下壓探針，待探針接觸到白紙后，向后移動(dòng)探針。多嘗試幾次走到探針上的灰塵脫落。3、超聲清潔法：適用范圍是所有探針，清洗方法是取適量的蒸餾水置于燒杯內(燒杯大小以適合用戶(hù)操作為宜)，并放到超聲波清洗機內。打開(kāi)超聲波清洗機，然后手捏住探針(注意戴丁腈手套)，將針尖放入蒸餾水內，讓震動(dòng)把灰塵震落，可以隔一兩分鐘用顯微鏡觀(guān)察一次，直到灰塵掉落為止。將探針?lè )诺竭m當的位置晾干后即可使用。請注意，若清潔微波探針，須將探針?lè )胖谜砹栏伞Ｌ结樑_是檢測半導體芯片的電參數、光參數的關(guān)鍵設備。浙江非標探針臺

按照操作方式來(lái)劃分成：手動(dòng)探針臺、半自動(dòng)探針臺、全自動(dòng)探針臺。浙江MOS管探針臺

手動(dòng)探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤(pán)，開(kāi)啟真空閥門(mén)控制開(kāi)關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤(pán)上。2.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤(pán)X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤(pán)平臺將樣品待測試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5.待測點(diǎn)位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀(guān)先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢，以防動(dòng)作過(guò)大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時(shí)，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng)，觀(guān)察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。6.確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以通過(guò)連接的測試設備開(kāi)始測試。浙江MOS管探針臺

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